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      定製妖精视频链接清洗機

      妖精视频链接去膠機ASR-36L 妖精视频链接除膠機
      產品描述
      • 妖精视频链接去膠機:用於去除基片表麵刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜,也可用於基片表麵其它有機物的妖精视频链接體清洗。
      工作原理

      氧氣是幹式妖精视频链接體脫膠技術中的首要腐蝕氣體。它在真空妖精视频链接體脫膠機反應室內高頻和微波能的作用下,電離產生氧離子、自由氧原子O*、氧分子和電子混合的妖精视频链接體,其間氧化能力強的自由氧原子(約10-20%)在高頻電壓作用下與光刻膠膜發生反應:O2→O*+O*,CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。反應後產生的CO2和H2O然後被抽走。

      產品特點

      觸摸屏操作界麵

      數字及圖標多重工藝參數實時顯示

      三色燈異常報警功能

      自動/手動操作模式切換

      可存儲多套工藝配方

      遠程操控,數據導出(可選)

      特殊電極、保溫、氣路設計,均勻性好

      適用4寸以下矽晶圓的批量處理

      應用領域

      用於去除基片表麵刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜,也可用於基片表麵其它有機物的妖精视频链接體清洗。

      產品參數

      型號

      ASR-36L

      控製係統

      控製方式

      全自動控製(自動/手動切換)



      PLC(標配)/PC(可選)


      操作係統

      Windows 10


      觸摸屏

      7寸

      整機規格

      尺寸

      W950×D1050×H1700mm

      腔體

      尺寸

       Φ360×D360mm


      材質

      鋁合金(標配)/不鏽鋼(可選)

      電極

      尺寸

      W250×D310×H140mm


      層數

      2層

      托架

      材質

      鋁合金(標配)/石英(可選)


      套數

      1套

      真空計

      皮拉尼式真空計

      1個

      流量計

      MFC質量流量控製器

      3個;Ar、N2、O2、CF4(可選)

      真空泵

      幹式泵

      1套

      發生器

      射頻

      13.56MHz,0~1000W

      額定功率

      整機峰值功率

      13KW

      機台供電

      三相五線式

      AC-380V

      選購品

      防腐流量計、防腐真空計、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、溫度傳感器、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件


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